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具有多個測量座的臺座空隙平準調整工具

1197   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:09
一種具有多個量測座的臺座空隙平準調整工具,用于在化學氣相沉積室內校正臺座與擴散器間的相對位置,其中該臺座支撐基板且可在該沉積室體中沿著臺座軸進行垂直方向移動,及該擴散器,用于將工藝氣體擴散至該腔體中,其具有:多個支撐座,可被放置在該臺座上的任意指定位置;及多個感應器,分別設置于上述支撐座上,用于在個別指定位置測量該臺座與擴散器之間的距離。
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