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多參數水質監測集成微陣列電極及制備方法

1175   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:08
本發明涉及一種多參數水質監測集成微陣列電極及制備方法，其特征在于所述的微陣列電極制作在氧化硅片上。該陣列電極襯底為Pt薄膜，光敏性聚酰亞胺為絕緣層，光刻將電極位點裸露出來，其他部分絕緣；采用電化學修飾的方法在裸露電極上電沉積Ag/AgCl和IrOx薄膜分別形成參比電極和pH測試電極，以實現對溫度、氧化還原電位、電導率和pH的測定。制作包括微陣列電極的制作，Ag/AgCl參比電極的制備以及pH電極的制備。本發明所述微電極便于集成化和微型化。
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