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真空鍍膜設備的真空度量測裝置

769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:48
本發明有關于一種真空鍍膜設備的真空度量測裝置，包含有一真空計及一開關閥，開關閥安裝于真空鍍膜設備的一真空腔體且與真空計連接在一起，當開關閥開啟時，真空腔體與真空計之間相互連通，使真空計能藉由量測氣體的物理性質而換算出真空腔體內的真空度，當開關閥關閉時，真空腔體內與真空計之間互不相通，使真空計能夠減少接觸到化學腐蝕氣體的機會，以達到延長維修周期及使用壽命的目的，同時便于維修操作。
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“真空鍍膜設備的真空度量測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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