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日盲光電探測器及其制備方法

1034   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:28:48
本公開提供了一種日盲光電探測器的制備方法,包括:S1,以氬氣為載氣,三乙基鎵和氧氣為反應前驅物,在襯底上生長氧化鎵,以得到第一相混合第二相的初級氧化鎵晶片;S2,在所述初級氧化鎵晶片上旋涂紫外光刻膠,并在所述旋涂紫外光刻膠初級氧化鎵晶片上刻蝕出電極區域;S3,在所述電極區域生長金屬電極;S4,去除所述紫外光刻膠。另一方本公開提供了一種日盲光電探測器。本申請中的日盲光電探測器采用混合相氧化鎵為主要組成部分,該混合相氧化鎵具有低暗流,高響應度等優點。另,使用金屬有機物化學氣相沉積法制備氧化鎵外延層,這種方法具有可大規模生產、對產物質量的調控能力強等優點。
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