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基于單壁碳納米管薄膜的異質結光電探測器的制備方法

914   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:47
本發明涉及光電探測器領域，具體為一種基于單壁碳納米管薄膜的異質結光電探測器的制備方法。首先利用浮動催化劑化學氣相沉積法制備出高性能、柔性單壁碳納米管薄膜，將沉積于微孔濾膜上的單壁碳納米管薄膜裁剪成合適尺寸；將其置于預先開設窗口的硅基底上表面，使單壁碳納米管薄膜與硅基底緊密接觸，并移去濾膜后，放置于空氣環境下熱處理，在窗口處制備一層數納米厚的誘導氧化層；然后制備上電極(銀膠)和下電極(銦鎵合金)即得所述光電探測器。本發明異質結光電探測器結構簡單，制備過程便捷，所構建的光電探測器具有優異的光電探測性能及穩定性。
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“基于單壁碳納米管薄膜的異質結光電探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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