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鍍錫制程能力測試方法

1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:45
本發明提供了一種鍍錫制程能力測試方法，包括：使用鉆孔機鉆不同孔徑的若干通孔和盲孔；使用化學沉積的方式將所述通孔和盲孔的孔壁金屬化，再使用整板電鍍的方式將孔銅及面銅加厚5?8um；形成線路；在板件上施加電壓，測試銅層的導通性；計算通孔的板厚與直徑之比、以及盲孔的直徑與深度之比，選擇通孔中導通的孔的板厚與直徑之比作為錫層通孔的蝕刻能力，選擇盲孔中導通的孔的直徑與深度之比作為錫層盲孔的蝕刻能力。通過上述技術方案，本發明可以通過多個不同孔徑的通孔和盲孔的導通狀況，判斷出錫層的蝕刻能力，克服了現有技術中通過切片方式測試時，單節片取點單一沒有代表性的問題，具有測試結果準確可靠的特點。
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聲明：
“鍍錫制程能力測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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