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金屬紫外光電探測器的制備工藝

1185   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:47
本發明公開了一種GaN金屬-半導體-金屬紫外光電探測器的制備工藝。其技術方案是：利用金屬有機物化學汽相沉積(MOCVD)方法在藍寶石襯底上制備了GaN單晶薄膜，并對樣品進行X射線衍射和光致發光譜測量。利用GaN樣品成功地制備了MSM結構GaN紫外光電探測器。本發明的特點是：GaN基材料還具有很高的熱導率和電子飽和速度，極高的擊穿電場，穩定的物理和化學特性。MSM結構因其平面型、制備工藝相對簡單、無需制作p2n結、避開摻雜和歐姆接觸等問題容易獲得高量子效率、高響應速度以及便于單片光電集成等諸多優點而倍受青睞。
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“金屬紫外光電探測器的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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