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基于氧化銅/氧化鎵納米柱陣列pn結的柔性紫外探測器及其制備方法

1069   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:27:10
本發明涉及一種基于氧化銅/氧化鎵納米柱陣列pn結的柔性紫外探測器及制備方法,所述探測器包括依次設置的柔性銅片襯底,所述柔性銅片襯底的至少一側具有氧化銅層,位于所述銅片襯底一側的氧化銅層上設置β?Ga2O3納米柱陣列,位于所述β?Ga2O3納米柱陣列上的石墨烯/Ag納米線復合層,位于所述石墨烯/Ag納米線復合層上的Ag電極,所述氧化銅與所述β?Ga2O3納米柱陣列之間形成氧化銅/氧化鎵納米柱陣列pn結,所述柔性銅片襯底作為銅電極與所述Ag電極形成通路。本發明的紫外探測器,具有三維空間異質結界面結構和日盲特性,具有優異的化學和熱穩定性,柔性可彎曲,耐壓強,工作溫度和功耗低,重復性良好,可定向識別波長位于日盲波段的200?280nm的紫外光。
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