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用于實時感測工業制造設備中的屬性的裝置和方法

763   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:59
描述了用于實時感測工業制造設備中的屬性的裝置和方法。該感測系統包括：第一多個傳感器，其被安裝在半導體器件制造系統的處理環境內，其中，每個傳感器被指定給不同的區域以監測該制造系統的指定區域的物理屬性或化學屬性；以及讀取器系統，其具有部件，該部件被配置成同時且無線地詢問多個傳感器。該讀取器系統使用單個高頻詢問序列，該單個高頻詢問序列包括：(1)向第一多個傳感器發送第一請求脈沖信號，該第一請求脈沖信號與第一頻帶相關聯，以及(2)從第一多個傳感器接收唯一可識別的響應信號，該響應信號提供對系統的每個指定區域處的物理屬性或化學屬性變化的實時監測。
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