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ZnSe納米光電探測器及其制備方法

1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:59
本發明公開了一種ZnSe納米光電探測器及其制備方法,探測器的結構層自下而上依次為絕緣襯底、感光層和電極,其特征是感光層為n-型摻雜的ZnSe納米線。本發明采用化學氣相沉積法合成制備n型摻雜ZnSe納米線,在合成過程中通過原位摻雜實現n型摻雜,以及利用光刻、電子束和脈沖激光沉積工藝制備源漏電極,從而制得ZnSe納米光電探測器。本發明探測器中感光層采用n-型摻雜的ZnSe納米線,能有效增強納米光電探測器的電信號,提高其開關比;其制備方法簡單,能使ZnSe納米線平行排布,從而增加感光面積,進一步提高電信號。
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