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具有全波長的光探測器及其制備方法

1151   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:58
本發明涉及一種具有全波長的光探測器及制備方法，該光探測器包括：一基底，在基底上生長一層ZnO或La1－xSrxMnO3膜，再在ZnO或La1－xSrxMnO3膜上生長一層La1－xSrxMnO3或ZnO膜形成異質結，ZnO/La1－xSrxMnO3異質結結構與基底一起構成光探測器的芯片；所述的第一電極設置在ZnO膜上，第二電極設置在La1－xSrxMnO3膜上，第一電極引線和第二電極引線連接在電極上；所述的La1－xSrxMnO3，其中x為0.01－0.5。該器件采用常規分子束外延、脈沖激光淀積、化學氣相沉積、濺射、物理氣相沉積或超聲噴霧的方法和設備，在基底上進行制備異質結形成光探測器芯片。當光照射探測器后直接產生電壓信號，不需要任何輔助的電源和電子電路。其響應波段從紫外到遠紅外，光生電壓信號可達近百mV。
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