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筆形海綿掉落探測裝置

760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:55
本發明公開一種筆形海綿掉落探測裝置，化學機械研磨設備中設有第二階段清潔器，該第二階段清潔器包含用于放置晶圓的平臺，以及設置在平臺一側的機械臂，機械臂的端部設有固定器，筆形海綿設置在該固定器中；本探測裝置包含：固定支架，其固定在機械臂的端部；傳感器，其固定在固定支架的端部；傳感器靠近筆形海綿設置，該筆形海綿與傳感器之間的距離在傳感器的探測范圍內；傳感器的輸出端電路連接外接的主控制器。本發明設置光電接近傳感器于筆形海綿側邊，可立即檢測到筆形海綿的掉落情況，避免在生產過程中發生筆形海綿脫落而導致晶圓損壞報廢的事故，有效的保護了第二階段清潔器和晶圓，提高第二階段清潔器的使用壽命和晶圓的良率。
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聲明：
“筆形海綿掉落探測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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