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玻璃孔表面缺陷層深度測量方法

1179   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:19
本發明屬于光學零件缺陷層檢測技術，具體涉及一種玻璃孔表面缺陷層深度測量方法。所述玻璃孔表面缺陷層深度測量方法包括具有孔結構的試件制備、孔表面的微量腐蝕、缺陷層的精密檢測，所述具有孔結構的試件設置兩塊帶有角度的楔形零件，所述孔表面微量腐蝕采用HF腐蝕，所述缺陷層的精密檢測應用KEYENCE激光共聚焦顯微鏡在1500X下進行觀測。本發明一種玻璃孔表面缺陷層深度測量方法應用金剛石鉆頭在玻璃中打孔通過光膠面時光膠面與孔口交接處無二次缺陷的原理，通過光膠面孔口的微量化學腐蝕將孔表面損傷層顯現出來，然后通過KEYENCE激光共聚焦顯微鏡觀測將損傷層深度測量出來。
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“玻璃孔表面缺陷層深度測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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