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新型熱釋電紅外探測器及其使用的復合薄膜探測元

919   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:24:12
本發明涉及一種結合化學方法和物理方法制備的復合薄膜熱釋電紅外探測器的探測元技術領域。本發明所述的熱釋電紅外探測器的探測元是以單晶硅或與二氧化硅的復合體為襯底,多孔二氧化硅薄膜為熱絕緣層,致密二氧化硅薄膜為過渡層,鉑為底電極,LNO薄膜為下吸收層和緩沖層,鈦酸鉛鐵電薄膜為熱釋電材料,金為上電極,LNO為上吸收層。本發明中的熱釋電紅外探測器可以較多的吸收紅外輻射,具有較小的熱損失,從而紅外能量能夠最大程度的被熱釋電薄膜利用,而且LNO緩沖層提高了PT的電學性能,使得探測器具有優異的性能。另外,用溶膠-凝膠法合成薄膜微區組分均勻性高,工藝過程溫度低,易于大面積成膜,不需要真空設備,成本低,而且與硅集成工藝兼容。
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“新型熱釋電紅外探測器及其使用的復合薄膜探測元” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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