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用于異丙醇室溫快速檢測的高靈敏納米硅基氣體傳感元件及其制備方法

1064   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:20:07
本發明公開一種用于異丙醇室溫快速檢測的高靈敏納米硅基氣體傳感元件及其制備方法，采用雙重金屬輔助化學刻蝕工藝，對硅納米線表面進行粗糙化處理并有效降低硅納米線的陣列密度，實現氣敏響應的微結構改性；再經微結構改性的硅納米線表面均勻包覆超薄醌型聚吡咯薄膜，形成有機?無機核殼復合結構，實現氣敏響應的有機異質改性。本發明形成醌型聚吡咯?硅納米線的有機?無機特殊異質結接觸結構，實現對納米硅敏感元的有效有機異質改性。通過對硅納米線敏感元的雙重改性處理，實現傳感器件對異丙醇氣體的室溫高靈敏響應。
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“用于異丙醇室溫快速檢測的高靈敏納米硅基氣體傳感元件及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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