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用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法

1155   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:19:32
本發明公開了一種用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法，包括：襯底上淀積電熱絕緣材料、第二側墻材料、基底材料；光刻和干法刻蝕法制作第一側墻基底；淀積第一側墻材料，用濕法腐蝕的方法去除第一側墻的基底；以第一側墻為掩膜干法刻蝕第二側墻材料形成堆疊側墻1；制作金屬層；用薄膜淀積工藝制備絕緣材料層；用化學機械拋光制作納流體通道，保留剩余的第一側墻作為通道封頂層，然后去除光刻膠，最后再在通道兩側的金屬上方開孔引出電極2即可形成適于生物分子檢測的芯片單元。本發明能突破光刻分辨率限制及提高芯片單元與CMOS工藝的兼容性，并提高適于生物分子檢測的芯片單元的制備效率。
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聲明：
“用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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