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車載乙醇檢測的SnO2薄膜及其制備方法

1077   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:17:29
本發明公開了車載乙醇檢測的SnO2薄膜及其制備方法，車載乙醇檢測的SnO2薄膜主要包括硅襯底、電極層、薄膜敏感材料層三層。其中敏感材料層主要由SnO2半導體氧化物材料薄膜構成，電極層為梳狀電極，采用電沉積并輔以DNA調控制備納米膜工藝在梳狀電極上生成錫的納米量級氧化物薄膜，然后進行金摻雜及退火，制備出納米晶粒氧化錫薄膜。本發明制備的氧化錫薄膜具有顆粒度小、比表面積大、表面均勻、對汽車里易揮發性氣體乙醇的檢測有較高的靈敏度且響應恢復快等特點。該制備方法具有可在各種結構復雜的基體上均勻有序沉積，可精確控制沉積層的厚度、化學組成和結構等特點，制作設備投資少，工藝簡單，操作容易。
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