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激光直接成像設備成像位置誤差的檢測方法

1219   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:17:27
本發明提供一種激光直接成像設備成像位置誤差的檢測方法，將拼接誤差檢測圖形輸入激光直接成像設備，通過空間光調制器成像在覆有感光干膜的基板上，通過激光直接成像設備自帶的CCD圖像處理系統分別抓取圖形拼接位置兩邊的圓心坐標，計算兩邊坐標在X,Y方向的誤差，此誤差即為拼接誤差，此方法省去了化學顯影和顯微鏡測量步驟，極大的提高了檢測效率和準確性。
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“激光直接成像設備成像位置誤差的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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