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基于人在回路中抽樣迭代的芯片缺陷檢測方法

779   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:13:12
本發明公開了一種基于人在回路中抽樣迭代的芯片缺陷檢測方法，該方法首先采集相機拍攝得到芯片RGB圖像，再根據有無缺陷進行標注，若有缺陷，識別出缺陷位置，按缺陷位置分為10類并按序號0~9進行標注。在初始模型訓練階段，使用特征提取深度網絡對輸入的圖片進行特征提取，再使用四層卷積神經網絡進行分類，將最大概率的索引數作為缺陷檢測的分類結果。再對陸續從工廠獲取的多批次的未標注數據進行缺陷檢測,對每批次中最大概率小于設定閾值的圖片進行存儲，再隨機抽取10%的樣本數據，傳遞給人類專家進行人工標注后，使用強化學習進行模型訓練，得到檢測結果。本發明將人的知識融入訓練流程中，保證了訓練的可持續性，滿足了工業界的高精度要求，更具有可實施性。
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“基于人在回路中抽樣迭代的芯片缺陷檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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