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半導體機臺的氣密性檢測方法

774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:13:09
本申請涉及一種半導體機臺的氣密性檢測方法。所述半導體機臺的氣密性檢測方法包括如下步驟：形成測試芯片，所述測試芯片包括襯底以及位于所述襯底上的測試膜層，所述測試膜層中具有測試圖案，所述測試膜層具有化學反應活性；獲取所述測試圖案的第一特征尺寸；放置所述測試芯片至半導體機臺內部；于所述半導體機臺內部建立真空環境；獲取自所述半導體機臺內部取出后的所述測試圖案的第二特征尺寸；判斷所述第一特征尺寸是否大于所述第二特征尺寸，若是，則確認所述半導體機臺的氣密性差。本申請縮短了半導體機臺氣密性檢測的時間，降低了半導體機臺氣密性檢測的成本，并提高了半導體機臺氣密性檢測的準確度。
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聲明：
“半導體機臺的氣密性檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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