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諧振式微懸臂梁自激振蕩自檢測傳感器

943   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:26
一種諧振式微懸臂梁自激振蕩自檢測傳感器,屬于微機電系統懸臂梁傳感器技術領域,其特征在于,含有一個由選頻網絡、濾波放大電路、相位補償電路及驅動電路依次串聯構成的一閉環電路,該選頻網絡由含有壓電驅動結構的微懸臂梁、補償電路、第一運算放大電路、第一反饋電路和第二反饋電路構成,該懸臂梁結構的下電極與第一運算放大電路的負輸入端相連,而上電極經補償電路連接到第一運算放大電路的正輸入端。微懸臂梁在壓電效應作用下諧振,當外部環境的物理量或化學量發生變化時其諧振頻率的偏移量經反饋放大后由選頻網絡輸出。本發明把激勵結構和檢測結構合為一體,提高了穩定性,成品率,并降低了成本。
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