合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 半導體清洗設備工作狀態的監測系統及檢測方法

半導體清洗設備工作狀態的監測系統及檢測方法

790   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:26
本發明公開了一種半導體清洗設備工作狀態的監測系統，包括燈塔和燈塔控制單元。燈塔具有指示燈和蜂鳴器，其根據控制信號輸出顏色或聲音或顏色和聲音的組合。燈塔控制單元與清洗設備的機械手單元、裝卸載硅片單元、化學藥液傳輸單元、清洗工藝腔室單元、暫存硅片單元、以及所述燈塔相連。燈塔控制單元通過配置文件配置每一單元的不同狀態及各單元不同狀態的組合與燈塔的輸出之間的對應關系；并發送指令至各單元、根據各單元對指令的執行狀態反饋信息發送信號至燈塔使其輸出相應的顏色和/或聲音。本發明使得設備操作者能夠及時發現清洗設備出現問題并迅速做出響應。
登錄解鎖全文
聲明：
“半導體清洗設備工作狀態的監測系統及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：P3MT/N-GE修飾玻碳電極以及在檢測農藥辛硫磷的應用
下一個：用于爆炸物檢測的復合水凝膠及其制備方法

與 “半導體清洗設備工作狀態的監測系統及檢測方法” 相關技術

? 用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
? 用于鈦合金薄板的矯平方法
? 金屬板材加工用鉆孔裝置
? 金屬材料韌性檢測儀
? 適合化學選礦的防腐浮選柱
? 搖床均勻上料裝置及供料方法
? 用于銅尾礦浮渣的浮選裝置
? 機械臂模塊化連接機構及模塊化金屬礦山掘進設備
? 適用于軟弱破碎礦體的非爆連續采搬系統
? 緩傾斜中厚礦體分層偽傾斜長進路機械化連續充填采礦法

相關化學分析設備推薦

手持式土壤墑情自動檢測儀農業地質監測站
土壤監測儀
土壤酸堿度速測儀
1000KN電液伺服萬能試驗機
無接頭砂帶抗拉強度測試儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
?用于鈦合金薄板的矯平方法
?金屬板材加工用鉆孔裝置
?金屬材料韌性檢測儀
?適合化學選礦的防腐浮選柱
?搖床均勻上料裝置及供料方法
?用于銅尾礦浮渣的浮選裝置
?機械臂模塊化連接機構及模塊化金屬礦山掘進設備
?適用于軟弱破碎礦體的非爆連續采搬系統
?緩傾斜中厚礦體分層偽傾斜長進路機械化連續充填采礦法

報名參會
更多+

第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025年07月24日 ~ 26日
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025年08月05日 ~ 07日
2025鉛鋅產業市場研討會
2025鉛鋅產業市場研討會
2025年08月07日 ~ 09日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:92
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX