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檢測裝置及方法

950   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:08:35
本發明涉及一種檢測裝置及方法，屬于化學機械拋光技術領域。該檢測裝置應用于化學機械平坦化設備中，化學機械平坦化設備包括：修整器、拋光盤和設置于拋光盤上的拋光墊，修整器的執行端上設置有金剛砂輪。檢測裝置包括：電源、測距傳感器、控制器和通信模塊。通過設置于修整器的靠近拋光墊的一側的測距傳感器來檢測修整器與金剛砂輪之間的距離；再通過控制器來對測距傳感器檢測的距離信息進行處理，得到拋光墊的第一厚度，并將該第一厚度與預設厚度值進行比對，即可準確的知道該拋光墊是否需要進行更換，解決了傳統判定方法的不足，提高了晶圓拋光的質量。
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聲明：
“檢測裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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