本發明涉及分析化學技術領域,且公開了鹽酸和三氯化鐵系ITO蝕刻液組成的檢測方法,包括以下步驟:S1、鹽酸含量測定:S11、以有弱堿為介質,無水短鏈醇為溶劑,配制濃度為0.5?1.0mol/L的有機堿?醇溶液為滴定劑;S12、將滴定劑配制完成后震蕩混勻20min,靜置12h后再震蕩充分混勻;本發明對鹽酸和三氯化鐵系ITO蝕刻液中兩種主組分分別定量,主組分中的鹽酸和三氯化鐵檢測分別采用非水溶劑的動態DET?U滴定方法及電感耦合等離子發射光譜(ICP?OES)方法進行定量,能夠精確地測量出ITO蝕刻液中鹽酸的含量,可以滿足ITO蝕刻液在線實時取樣的滴定分析,檢測速度快,一步完成,無前處理,能實時反饋鹽酸濃度,能夠滿足在線檢測和控制要求。
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