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電化學氣體傳感器芯片

755   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:02:28
本發明公開一種電化學氣體傳感器芯片,整體為片狀氣體傳感器芯片,該氣體傳感器芯片右側端部為梯形斜界面,包括直接暴露在氣體中的第一外部電極層和第二外部電極層,位于固體電解質層內部的擴散障礙層二、第一內部電極層、第二內部電極層、第三內部電極層、第一測量氣體室、第二測量氣體室和電阻加熱器層,位于固體電解質層上的進氣口,裝在進氣口內的擴散障礙層一,和與外部氣體連通的參考氣體通道。本發明能夠測量含氮氧化物氣體中氧氣濃度,還能夠測量該芯片中存在氧氣濃度,解決了測量內燃機廢氣流中氧氣濃度時,需要增加氧氣傳感器的問題,節省成本,使用效果好,性能優良。
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