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用于化學機械研磨機臺的固定環

1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:27
本發明公開了一種用于化學機械研磨機臺的固定環，包括環體和安裝在所述環體上的信號探測單元，所述信號探測單元連接到機臺控制端。當環體磨損到固定環壽命終止位置或環體發生破裂時，環體上安裝的信號探測單元探測到信號變化，并發送信號給機臺控制端，機臺控制端報警提醒工程師更換固定環。所述信號探測單元包括電信號、氣壓、濕度、氧氣和浮力探測器中的一種或其組合。本發明通過安裝在環體上的信號探測單元監測固定環的使用壽命狀況，使工程師及時對已經磨損到固定環壽命終止位置或發生破裂的固定環進行更換，防止因固定環的厚度異?；颦h體發生破裂造成的潛在風險和經濟損失。
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聲明：
“用于化學機械研磨機臺的固定環” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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