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原位電化學SEM液體芯片組件、其制備方法與應用

1162   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:26
本發明公開了一種原位電化學SEM液體芯片組件、其制備方法與應用。所述芯片組件包括密封結合的基片和蓋片以及儲液池和至少兩個電極，所述儲液池至少用以容納電解液，該至少兩個電極彼此間隔設置，所述電極的至少局部分布于儲液池內，所述基片或蓋片上與儲液池對應位置處還分布有觀察窗口，所述觀察窗口至少用以對儲液池內的物質進行觀測，所述觀察窗口上密封覆蓋有至少可供電子束通過的薄膜，所述芯片組件還包括與儲液池連通的注液孔。本發明大幅簡化了原位SEM芯片組件的構造，降低其制造成本及使用難度，且其通用性強，利于在電化學反應過程中進行原位SEM表征等。
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