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加熱器表面的修復方法及化學氣相沉積設備

957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:26
本發明涉及一種加熱器表面的修復方法及化學氣相沉積設備。所述修復方法包括：監測在加熱器表面形成的沉積體層；獲取所述沉積體層的厚度分布；當所述厚度分布為不均勻分布時，則基于所述厚度分布，向所述加熱器表面噴射修復粉末，直至所述厚度分布為均勻分布。根據本發明的加熱器表面的修復方法，能夠提高化學氣相沉積設備中加熱器的使用壽命。
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