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化學機械研磨系統

1008   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:16
一種化學機械研磨系統，包括一研磨墊，配置以研磨一基板?；瘜W機械研磨系統還包括一加熱系統，配置以調節研磨墊的溫度。加熱系統包括與研磨墊間隔開的至少一加熱元件?；瘜W機械研磨系統還包括一感應器，配置以測量研磨墊的溫度。
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