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用于真空等離子增強化學氣相沉積的液體高溫氣化裝置

1050   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:13
本實用新型公開了用于真空等離子增強化學氣相沉積的液體高溫氣化裝置，屬于化學物質技術領域，包括機架和熱藥罐，所述位于機架正面的左側，所述熱藥罐頂部的正面前設置有注藥管，通過設置熱藥罐和高溫流量計的配合，能夠控制熱藥罐的加熱溫度，使熱藥罐內藥液以恒定速率蒸發，保持熱藥罐壓力在合適范圍內能夠精準控制氣體流量，保證產品膜厚均勻，達到不同膜厚要求，并且操作簡單，通過簡單設定參數即可達到使用目的整體液體高溫氣化裝置體積小，熱藥快，開機后通過自檢程序后即可開始使用，同時節約能源，功率低，消耗能量少，通過設置電磁控制閥和清洗進氣管的配合使裝置自帶清洗功能，保證精密元器件長期使用不損壞。
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聲明：
“用于真空等離子增強化學氣相沉積的液體高溫氣化裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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