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化學機械研磨工藝的優化方法

748   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:51
本發明公開了一種化學機械研磨工藝的優化方法,該方法包括:A、提供一實驗樣品,并按照當前的化學機械研磨CMP工藝參數對實驗樣品進行CMP工藝后,采用等離子體增強化學氣相沉積PE-CVD工藝在實驗樣品表面形成氮化硅SiN;B、采用離子束沉積工藝在SiN的表面形成金屬鎢,然后按照冠狀方向對實驗樣品進行切割,并獲取實驗樣品的縱截面;C、采用透射電子顯微鏡TEM測量實驗樣品的縱截面中實驗樣品的參數,如果實驗樣品的參數不滿足工藝標準,則調整當前的CMP工藝參數,并執行步驟A;如果實驗樣品的參數滿足工藝標準,則結束流程。采用該方法能夠對CMP工藝進行優化。
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聲明：
“化學機械研磨工藝的優化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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