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用于化學氣相沉積裝置的防跳電結構

991   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:51
本發明涉及一種用于化學氣相沉積裝置的防跳電結構，所述化學氣相沉積裝置包括控制單元與通過RF接地導線接地的加熱部件，所述加熱部件與交流回路相連，所述控制單元具有內連鎖回路，所述交流回路上配置有熱感應器，該熱感應器還與所述內連鎖回路相連，RF信號在所述RF接地導線斷路后進入所述交流回路并引起所述交流回路的溫度變化，所述熱感應器根據該溫度變化控制所述內聯鎖回路的通斷。本發明采用熱感應器來感應RF接地導線異常時交流回路導線產生的熱信號，并通過內聯鎖回路控制化學氣相沉積裝置，結構簡單，可以及時發現RF接地導線故障；采用本發明可以簡化化學氣相沉積裝置的保養檢修流程，降低生產成本，提高保養效率。
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聲明：
“用于化學氣相沉積裝置的防跳電結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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