采用定向晶??刂频碾娀瘜W機械拋光工件的預處理方法。本發明涉及金屬超精密加工技術領域,尤其涉及電化學機械拋光前的工件定向晶??刂祁A處理方法。本發明的預處理方法包括:a、在不同晶粒尺寸的金屬工件上進行電化學機械拋光實驗,獲得晶粒尺寸與材料去除率的關系;b、測量待加工金屬毛坯工件的初始面型誤差;c、基于a、b兩個步驟測量的待加工金屬毛坯面型誤差特征、晶粒尺寸與材料去除率的關系和最終面型要求,設計電化學機械拋光材料去除率及晶粒尺寸分布;d、采用塑性成形及熱處理的方法獲得定向控制晶粒尺寸分布的工件。本發明的技術方案解決了現有技術中,傳統ECMP加工方式因邊緣效應而使得工件產生“塌邊”現象等面型誤差的問題。
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“采用定向晶??刂频碾娀瘜W機械拋光工件的預處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)