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化學機械平坦化系統以及方法

889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:49
本公開一些實施例中提供一種化學機械平坦化系統?；瘜W機械平坦化系統包括一墊、一平臺、一泵以及一感測器。墊包括一第一側以及與第一側相對的一第二側，其中第一側是配置以在一化學機械平坦化制程期間接收一晶圓。平臺沿著第二側相鄰于墊，其中平臺包括一抽吸開口，且抽吸開口與第二側接合。泵被配置以在抽吸開口處產生吸力，以將第二側附著至平臺。感測器是配置以收集一感測器數據，且感測器數據表征墊以及平臺之間的一附著均勻性，其中泵是配置以基于感測器數據，在抽吸開口處產生吸力。本公開還涉及一種化學機械平坦化方法。
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“化學機械平坦化系統以及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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