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原位準同步檢測微納結構物化特性的方法

892   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:49
本發明涉及對材料表面微納結構進行物化特性的檢測方法,具體涉及在大氣環境下采用AFM-IMS或AFM-FAIMS聯用技術,原位準同步檢測微納結構物化特性的方法。先在原子力顯微鏡上對被測樣品進行掃描成像得到物理特性數據后,利用電暈放電,使樣品的化學物質脫附并離化為帶電離子,再利用微型機電接口裝置以遷移電場或使用人工氣流的方式將帶電離子送入離子遷移譜儀或高場不對稱波形離子遷移譜儀中進行分離檢測,確定化學成分。本發明能夠將樣品的物理特性和化學成份直接對應起來分析,具有原位(準)同步定點分析微納結構的功能,整個過程在大氣環境下進行,對樣品限制低,分析測試效率大為提高,操作方便靈活,體積成本較低,便于在材料分析測試領域中普及推廣使用。
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