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具有集成載荷單元的化學藥品存儲設備

687   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:47
一種化學藥品存儲設備(100)和監測化學藥品使用的方法。該設備和所公開的方法采用化學藥品存儲罐(102)和集成至一個可運輸單元的載荷單元(104)。該載荷單元(104)能夠補償在半導體產業中所使用的附加的分配設備增加的重量。另外,當將化學藥品從化學藥品存儲設備(100)抽出時,載荷單元(104)連續顯示化學藥品的重量(220)。被組合入載荷單元(104)本身的載荷單元(104)的控制邏輯包括這些功能。
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