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在恒壓模式下電化學拋光的方法

817   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:00:46
本發明揭示了一種在恒壓模式下電化學拋光的方法,包括:預設一個具有電流分布的恒流配方,包括晶圓上具有不同半徑的多個位置以及為每個位置預設的電流;使用恒流配方拋光第一晶圓;在拋光過程中檢測并記錄每個位置的電壓;生成具有電壓分布的恒壓配方,包括多個位置以及對應每個位置記錄的電壓;使用恒壓配方拋光第二晶圓。
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“在恒壓模式下電化學拋光的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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