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用于硒化鎘晶體的化學機械拋光方法

735   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:44
本發明公開了一種用于拋光硒化鎘晶體的化學機械拋光方法。該方法分為兩步，通過采用配制的粗拋光液、精拋光液先后進行粗拋光和精拋光，控制拋光液流速、拋光壓力、拋光轉速和拋光時間，以解決晶體表面劃痕、凹坑等表面損傷問題，實現短周期內得到納米級表面粗糙度的高質量光滑表面。采用本發明的化學機械拋光工藝，綜合去除速率約為500nm/min，可以在較短時間內去除表面損傷層。晶片表面損傷層較薄，無麻坑等拋光缺陷；原子力顯微鏡（AFM）檢測顯示粗糙度Ra值小于1nm，更優的可小于0.5nm，劃痕深度小于2nm。每個加工周期耗時小于60min，大大提升了拋光效率，進一步的降低了拋光成本。
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“用于硒化鎘晶體的化學機械拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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