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化學機械研磨設備

866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:59:02
本發明公開了一種化學機械研磨設備，其結構包括底板、立柱、水平檢測裝置、研磨板、出液管、儲液罐、頂板、氣缸、壓板、轉軸，底板與設在上方的頂板相平行，底板兩側分別通過立柱與頂板相連接，氣缸垂直連接在頂板底部，氣缸底部與壓板垂直連接，研磨板設在壓板下方，研磨板通過轉軸安裝在底板上，儲液罐連接在立柱上，儲液罐底部設有出液管，出液管管口設在研磨板上方，水平檢測裝置安裝在底板上，本發明的有益效果是：通過2個彈簧桿能夠根據研磨板的高度變化進行變化，再經過杠桿結構進行放大，通過報警主機的是否水平來判斷研磨板的水平狀態，能夠及時對工作人員進行提醒，便于及時進行調整，從而保證研磨的質量。
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