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化學機械研磨設備

794   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:58
一種化學機械研磨設備，所述化學機械研磨設備包括：研磨盤，用于固定研磨墊；研磨頭，位于所述研磨盤上方，用于固定晶圓；傳感器，固定于所述研磨頭外壁上，且所述傳感器的檢測窗口朝向所述研磨盤；噴氣單元，固定設置于所述研磨盤一側，用于向所述傳感器噴氣。所述化學機械研磨設備的滑片偵測效果提高。
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