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化學機械拋光傳輸機器人的非線性模糊結合遞歸控制系統

861   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:49
本發明提出一種化學機械拋光傳輸機器人的非線性模糊結合遞歸控制系統，包括：上位機控制器、主控制器、運動控制器、檢測器、多個伺服驅動器、多個電機和編碼器，檢測器用于檢測傳輸機器人的工作狀態參數以生成檢測信息；上位機控制器用于接收操作指令；編碼器用于檢測傳輸機器人的當前運動位移和當前運動角度；主控制器用于生成傳輸機器人的運動指令；運動控制器用于在傳輸機器人啟動時以模糊控制模式計算初始電機控制量并在傳輸機器人平穩運行后以遞歸LQ優化控制模式計算電機控制量；每個伺服驅動器用于根據初始電機控制量或電機控制量計算相應電機的控制轉矩；多個電機，每個電機用于在相應的控制轉矩的控制下驅動傳輸機器人運動。
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聲明：
“化學機械拋光傳輸機器人的非線性模糊結合遞歸控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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