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化學機械研磨工藝中氧化劑濃度的監控系統

705   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:49
一種化學機械研磨工藝中氧化劑濃度的監控系統,包含一光譜儀與一中控器,其中光譜儀連接在研漿供應槽與研磨機臺之間用來供應研漿的管路上,此光譜儀用來檢測研漿中氧化劑的濃度;中控器與光譜儀、研漿供應槽與研磨機臺連接,此中控器會根據光譜儀傳來的信號以得到研漿中氧化劑的濃度,并據以調整研漿供應槽中研漿的組成與/或研磨機臺的研磨條件。
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