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碲鋅鎘晶片的綠色環?；瘜W機械拋光方法

740   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:48
一種碲鋅鎘晶片的綠色環?；瘜W機械拋光方法，屬于半導體超精密加工技術領域。先對碲鋅鎘晶片進行研磨加工，研磨液為去離子水，然后是化學機械拋光，采用棒狀介孔陶瓷磨料，去離子水，氧化劑，分散劑和pH調節劑配置拋光液。采用本發明方法拋光后CZT表面粗糙度檢測的范圍是5×5μm2，Ra值達到了0.26?0.34nm。本發明實現了CZT的的超光滑低損傷化學機械拋光。而且磨粒的彈性模量測量結果表明，磨粒的彈性模量對碲鋅鎘晶片的拋光結果有影響。
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