一種外槽液位指示型的化學處理槽,在外槽增加一連通導管裝置,使化學處理槽中的化學處理液可流通至連通導管裝置中。借由連通管原理,連通導管裝置中化學處理液的液面高度,會與化學處理槽中的化學處理液液面高度相同。因此,利用目視方式即可由本發明的透明連通導管裝置中,觀測出化學處理液的液面高度。如此一來,當氮氣液面傳感器感應到氮氣異常狀況時,即可利用目測方式省略現有復雜的化學處理液液面檢查步驟,以提高機臺的生產時間并節省化學品的使用量。
聲明:
“外槽液位指示型的化學處理槽” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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