本發明公開了一種化學機械拋光液的制備工藝:將化學機械拋光液的各成分按其工作機理、功能、化學或物理性質分組,平行的將每組的成分分別進行混合,得到各中間預混物,對中間預混物進行質量控制測試,全部中間預混物檢測合格后,進行混合,制得化學機械拋光液。本發明的制備工藝縮短了大規模生產的工藝流程時間,極大地提高了產能,降低了生產成本,并且增加了工藝流程質量控制點,提高了質量控制水平,使產品質量保障得到極大提升,降低了生產質量事故風險,因而具有明顯的經濟價值。
聲明:
“化學機械拋光液的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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