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電熱雙參數檢測芯片及其制備方法

743   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:06
本發明電熱雙參數檢測芯片及其制備方法屬于傳感技術領域,特別涉及空氣、水及生物體中某種化學物質的檢測。該芯片包括襯底、支撐膜片、測量熱參數變化的溫度傳感器、測量電參數變化的測量電極以及與被測物作用后會發生某種可逆或不可逆物理化學變化的敏感膜;其芯片襯底為框形,中心部位有一通孔,其上表面固接一支撐膜片,支撐膜片上表面中心部,位于通孔的中心,固接有一敏感膜,在支撐膜片上表面和敏感膜下表面之間,有至少一對測量電極和至少一個溫度傳感器。本發明同時檢測電熱兩個參數,提高了檢測準確性;因采用微電子機械系統技術制備,降低了檢測系統成本、體積以及功耗;并使膜片的熱容量很小,熱參數的測量精度大大提高。
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