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具有拋光層和窗口的化學機械拋光墊

905   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:05
本發明提供了一種化學機械拋光墊，其包括：拋光層；以及結合至所述化學機械拋光墊中的終點檢測窗口，其中所述終點檢測窗口是塞入性窗口；其中所述終點檢測窗口包含以下成分的反應產物，所述成分包含窗口預聚物以及窗口固化劑體系，所述窗口固化劑體系包含至少5重量％的窗口雙官能的固化劑、至少5重量％的窗口胺引發的多元醇固化劑以及25-90重量％窗口高分子量多元醇固化劑。
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聲明：
“具有拋光層和窗口的化學機械拋光墊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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