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納米二氧化硅熔鹽中電沉積硅膜基體電化學評估方法

921   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:02
一種納米二氧化硅熔鹽中電沉積硅膜基體電化學評估方法，按以下步驟進行：（1）將氯化鈣置于反應器中；插入石墨電極；（2）將氯化鈣加熱形成熔鹽，通過電極進行預電解，兩電極的電壓1.0±0.1V；（3）制作工作電極；（4）制成復合電極；（5）制成三電極體系；（6）將固態熔鹽覆蓋多晶硅片，加熱熔化形成熔鹽；（7）測量嵌入電位，通過塔菲爾曲線獲得自腐蝕電位VCorr(X-Si)；（8）向熔鹽中加入納米二氧化硅形成混合熔鹽；（9）通過兩個石墨電極對混合熔鹽進行二次預電解；（10）通過三電極體系測量還原電位VR(SiO2)；（11）計算σ和δ。采用本發明的方法可通過簡單的試驗，分析何種材料可直接作為納米二氧化硅在氯化鈣熔鹽中電化學還原電沉積硅膜的陰極基體。
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