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用于CMP過程控制的在線流出物分析方法和裝置

950   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:50:35
用于收集和分析由化學機械平坦化(CMP)過程產生的流出物流的裝置和方法對至少一個流出物特征進行連續測量并且隨時間推移綜合結果以創建對平坦化過程的體積分析。體積分析可以用作用于控制平坦化過程自身(例如基于膜材料的已知的初始厚度的終點檢測)的反饋/前饋信號、產生用于超范圍測量的報警信號和/或在排放之前對流出物的處理中有用的廢物流指示物(例如確定pH修正)。
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