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納米顆粒團聚型納米多孔電化學驅動器及其制備和測試方法

770   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:11
本發明公開了一種納米顆粒團聚型納米多孔電化學驅動器及其制備和測試方法，該驅動器包括柔性導體材料的沉積基底和沉積在沉積基底上的驅動薄膜；該制備方法利用高能激光束轟擊實現靶材從固態—等離子態—固態的轉變，從而可在不同基底上形成納米顆粒團聚型納米多孔驅動薄膜。通過調控靶基間距、基底轉速、沉積溫度等制備條件，可獲得顆粒粒徑可控的納米多孔電化學驅動器?？朔藗鹘y電化學驅動器不可兼顧響應速率與變形能力的不足；通過縮短離子嵌入路徑、提升離子吸附能力，驅動速率與變形幅值得以同步提升。本發明驅動器響應速率快、驅動幅值高、載物驅動能力強、工藝簡單且成本低廉，其可推動電化學驅動器在小型醫療器械、微納機電系統等領域的應用。
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